MACHER1 RF Matching System과 스미스차트에 대하여(Smith Chart) - 1 RF Matching System와 스미스차트에 대하여(Smith Chart)-1 반도체 공정 중 Plasma를 사용하여 진행하는 공정이 있고, 그 Plasma를 생성하기 위해서 꼭 필요한 조건 중 하나가 바로 Power다. 그리고 RF power를 사용하는지 DC power를 사용하는지에 따라서 RF plasma, DC plasma 로 분류할 수 있는데 그 중 RF power를 사용하는 공정 장치에서 Power를 공급해주는 것은 RF generator 라고 하고, 공급받은 Power를 장치 내에서 효율적으로 사용할 수 있도록 해주는 것은 RF Matcher 라고 한다. RF Matcher 는 RF generator에서 공급하는 전원을 공정을 진행하는 Chamber로 최대 전력을 고효율로 공급하는 장치로.. 2022. 7. 27. 이전 1 다음 반응형
