반응형 chemical식각1 식각(etching) 공정에서 profile에 영향을 미치는 loading effect에 대해서 - 1 식각(etching) 공정에서 profile에 영향을 미치는 loading effect에 대해서 반도체의 식각(etching) 공정은 진행하고자 하는 패턴에 따라 식각 속도나 proflie에 영향을 줄 수 있는 loading effect가 발생할 수 있다. 그래서 loading effect는 식각 공정을 진행하는 웨이퍼에서 uniformity를 떨어트릴 수 있다. loading effect 의 종류와 profile을 어떻게 진행시키는지 공부해보자. 1. Macro loading effect - Macro loading effect란 ? 보통 Macro loading effect에 대해 검색해보면 붙어있는 패턴을 식각할 때 식각 속도의 차이가 나는 현상과 관련된 그림들이 많이 보인다. 식각할 면적이 증가했.. 2022. 7. 8. 이전 1 다음 반응형
