implant1 Electrostatic chuck, ESC란? Electrostatic chuck, ESC란? 반도체 제조 공정에서 특히 진공을 사용해야 하는 공정(Etching, CVD 공정 등...)의 진행 설비의 경우 ESC 라는 부품은 반드시 장착되어 있고 아마 제일 중요한 부품 중 하나라고 생각할 수 있다. ESC는 무엇이고, 또 왜 사용하는지 간단하게 알아보자. - ESC란? ESC의 구분 제목에도 써 있듯이 ESC는 Electrostatic chuck이다. chuck, 말 그대로 wafer를 잡고 있는 부품인데 정전기력을 사용하여 잡고 있는 것이다. ESC는 여러 기준으로 구분할 수 있다. 1. monopolar / bi-polar ESC 내에 전극막이 하나이면 monopolar, 두 개 이면 bi-polar 이다. 이런 느낌이다. monopolar와 .. 2022. 6. 15. 이전 1 다음 반응형
